ショットキー走査型電子顕微鏡(FE-SEM)

装置番号

UE-022

メーカー・型番

日立 SU5000

用　途

試料のミクロな表面観察、組成観察（反射電子像）

仕　様

・加速電圧: 0.5～30 kV（0.1 kVステップ） ・分解能: 　二次電子像:
1.2 nm（加速電圧30 kV， WD = 5.0 mm） 　 3.0 nm（加速電圧 1 kV， WD = 3.0 mm） 　反射電子像:
3.0 nm（加速電圧15 kV， WD = 5.0 mm） ・写真倍率: 10～600,000x