ショットキー走査型電子顕微鏡(FE-SEM)
- 装置番号
- UE-022
- メーカー・型番
- 日立 SU5000
- 用 途
- 試料のミクロな表面観察、組成観察(反射電子像)
- 仕 様
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・加速電圧: 0.5~30 kV(0.1 kVステップ)
・分解能:
二次電子像:
1.2 nm(加速電圧30 kV, WD = 5.0 mm) 3.0 nm(加速電圧 1 kV, WD = 3.0 mm) 反射電子像:
3.0 nm(加速電圧15 kV, WD = 5.0 mm) ・写真倍率: 10~600,000x