電子線元素状態分析装置(EPMA)

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装置番号
UE-011
メーカー・型番
日本電子 JXA-8530F
用 途
固体試料表面の元素分析
仕 様
・分析元素範囲: WDS:B~U、EDS:B~U ・二次電子分解能: 3 nm (W.D. 11 mm, 30 kV) ・分析条件最小プローブ径: 40 nm (10 kV, 1x1x10-8A) ・走査倍率: x40 ~ x300,000 (WD=11 mm)
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