Ｘ線光電子分光装置(XPS)
- 装置番号
- UE-007
- メーカー・型番
- 日本電子 JPS-9200
- 用 途
- 固体試料表面の元素・化学状態分析
- 仕 様
- ・標準X線源 (Al-Mgツインターゲット) ・最大負荷 Mg 500 W、Al 600 W ・単色化Al Kα線(Ag 3d5/2 半値幅: 0.65 eV) ・アルゴンイオンエッチング、紫外光分光分析(UPS)可能
装置概要
・真空中で固体表面にX線を照射し、表面原子から飛び出した電子（光電子）を捕らえる装置。
・光電子は元素に固有のエネルギーを有しており、エネルギー分布の測定から、表面元素組成の分析と状態分析（酸化数）を行う。
研究例
積層半導体、多積層機能材料の面を削り、削られた表面の分析を繰り返すことで深さ方向の組成情報を得る。
測定できる物質、状態、大きさ等
・本装置による分析は高真空下で行うため、揮発成分を含む試料や昇華性の高い物質の測定は困難である。
・また、試料台の大きさに制限があるため、10mm x 10mm 以下 3mm x 3mm 以上、厚さ 2mm以下の試料の準備が必要。
