顕微レーザーラマン分光計

装置概要

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・ラマン分光では、分子の振動状態、回転状態などに関する情報を与えてくれる。

・本装置は、半導体・薄膜デバイス材料・微粒子やそれらの表面の研究分野で標準的な解析装置である。

・試料に約10μm程度の小さいスポットでレーザー光を照射し、特定の場所のラマンスペクトル測定ができる。

・試料を平面的に自動で動かすことのできる自動XYZ測定ステージを有する。
　これを使用することにより、微小試料、バルクの微小部分のマッピング測定を、高い空間分解能（1μm）で行うことができる。
　マッピング測定からは表面のケミカルなイメージを作成することができる。