Ｘ線光電子分光装置(XPS)

仕　様: ・標準X線源 (Al-Mgツインターゲット) ・最大負荷 Mg 500 W、Al 600 W ・単色化Al Kα線(Ag 3d5/2 半値幅: 0.65 eV) ・アルゴンイオンエッチング、紫外光分光分析(UPS)可能

装置概要

・真空中で固体表面にX線を照射し、表面原子から飛び出した電子（光電子）を捕らえる装置。

・光電子は元素に固有のエネルギーを有しており、エネルギー分布の測定から、表面元素組成の分析と状態分析（酸化数）を行う。

積層半導体、多積層機能材料の面を削り、削られた表面の分析を繰り返すことで深さ方向の組成情報を得る。

・本装置による分析は高真空下で行うため、揮発成分を含む試料や昇華性の高い物質の測定は困難である。
・また、試料台の大きさに制限があるため、10mm x 10mm 以下 3mm x 3mm 以上、厚さ 2mm以下の試料の準備が必要。

UEC×ARIM共同開催として、2025年3月にXPSセミナーを実施いたしました。
本セミナーでは、本学のARIM課題（UE0042）「半導体ナノ材料と次世代光電変換デバイスの基礎研究」に取り組む沈研究室の学生による、XPSの利用事例をご紹介しております。

本学所有のX線光電子分光装置（XPS）（JPS-9200：JEOL）の操作動画マニュアル（簡易版）を作成いたしました。
詳細な手順については、実際のご利用時に講習にてご案内いたしますが、事前の操作イメージの把握にご活用ください。

※本動画は、2025年度末に開催したUEC×ARIM実技講習会の内容を元に構成しています。