X線光電子分光装置 ESCA
X線光電子分光装置 ESCA
設備紹介
X線光電子分光装置 ESCA
管理情報
- 製品名：
- 日本電子(株) JPS-9200
- 管理部門：
- 基盤研究設備部門
表面・界面構造解析室
- 管理責任者：
- 桑原大介 研究設備センター
- 担当者 ：
- 北田昇雄 研究設備センター
装置概要
- 真空中で固体表面にX線を照射し、表面原子から飛び出した電子（光電子）を捕らえる装置。
- 光電子は元素に固有のエネルギーを有しており、エネルギー分布の測定から、表面元素組成の分析と状態分析（酸化数）を行う。
研究例
積層半導体、多積層機能材料の面を削り、削られた表面の分析を繰り返すことで深さ方向の組成情報を得る。
測定できる物質、状態、大きさ等
- 本装置による分析は高真空下で行うため、揮発成分を含む試料や昇華性の高い物質の測定は困難である。
- また、試料台の大きさに制限があるため、10mm x 10mm 以下 3mm x 3mm 以上、厚さ 2mm以下の試料の準備が必要。