X線光電子分光装置 ESCA

X線光電子分光装置 ESCA

設備紹介

X線光電子分光装置 ESCA

管理情報

製品名:
日本電子(株) JPS-9200
管理部門:
基盤研究設備部門
表面・界面構造解析室
管理責任者:
桑原大介 研究設備センター
担当者 :
北田昇雄 研究設備センター

装置概要

  • 真空中で固体表面にX線を照射し、表面原子から飛び出した電子(光電子)を捕らえる装置。
  • 光電子は元素に固有のエネルギーを有しており、エネルギー分布の測定から、表面元素組成の分析と状態分析(酸化数)を行う。

研究例

積層半導体、多積層機能材料の面を削り、削られた表面の分析を繰り返すことで深さ方向の組成情報を得る。

測定できる物質、状態、大きさ等

  • 本装置による分析は高真空下で行うため、揮発成分を含む試料や昇華性の高い物質の測定は困難である。
  • また、試料台の大きさに制限があるため、10mm x 10mm 以下 3mm x 3mm 以上、厚さ 2mm以下の試料の準備が必要。