顕微レーザーラマン分光計
顕微レーザーラマン分光計
設備紹介
顕微レーザーラマン分光計
管理情報
- 製品名：
- 日本分光（株） NRS-3100
- 管理部門：
- 基盤研究設備部門
分析・計測機器室
- 管理責任者：
- 桑原大介 研究設備センター
- 担当者 ：
装置概要
- ラマン分光では、分子の振動状態、回転状態などに関する情報を与えてくれる。
- 本装置は、半導体・薄膜デバイス材料・微粒子やそれらの表面の研究分野で標準的な解析装置である。
試料に約10μm程度の小さいスポットでレーザー光を照射し、特定の場所のラマンスペクトル測定ができる。 - 試料を平面的に自動で動かすことのできる自動XYZ測定ステージを有する。
これを使用することにより、微小試料、バルクの微小部分のマッピング測定を、高い空間分解能（1Μm）で行うことができる。
マッピング測定からは表面のケミカルなイメージを作成することができる。