顕微レーザーラマン分光計

顕微レーザーラマン分光計

設備紹介

顕微レーザーラマン分光計

管理情報

製品名:
日本分光(株) NRS-3100
管理部門:
基盤研究設備部門
分析・計測機器室
管理責任者:
桑原大介 研究設備センター
担当者 :

装置概要

  • ラマン分光では、分子の振動状態、回転状態などに関する情報を与えてくれる。
  • 本装置は、半導体・薄膜デバイス材料・微粒子やそれらの表面の研究分野で標準的な解析装置である。
    試料に約10μm程度の小さいスポットでレーザー光を照射し、特定の場所のラマンスペクトル測定ができる。
  • 試料を平面的に自動で動かすことのできる自動XYZ測定ステージを有する。

これを使用することにより、微小試料、バルクの微小部分のマッピング測定を、高い空間分解能(1Μm)で行うことができる。
マッピング測定からは表面のケミカルなイメージを作成することができる。