透過型電子顕微鏡 (200ｋV電界放出型透過型電子顕微鏡)
透過型電子顕微鏡 (200ｋV電界放出型透過型電子顕微鏡)
設備紹介
透過型電子顕微鏡 (200ｋV電界放出型透過型電子顕微鏡)
管理情報
- 製品名：
- 日本電子(株) JEM-2100F
- 管理部門：
- 基盤研究設備部門
表面・界面構造解析室
- 管理責任者：
- 桑原大介 研究設備センター
- 担当者 ：
装置概要
蒸発法で作製したナノグラファイト粒子のTEM像。
拡大した像にみられる縞は、グラファイト(002)面に対応した0.336nmの格子縞である。
- 透過型電子顕微鏡（TEM）は、試料に電子線を照射し、透過した電子や散乱した電子を結像し、高倍率で観察する装置である。主に形状、結晶性、組成に起因した像が観察でき、散乱した電子から得た回折像から試料の結晶構造を調べることができる。
- 本装置は、高輝度かつ電子線強度が安定した電界放出形電子銃(FEG)を採用しており、高い分解能と高い分析精度が達成される。
- 通常のTEM観察に加えて、走査透過型電子顕微鏡（STEM）観察や、エネルギー分散型X線分析装置（EDX）による分析や元素マッピングも可能となっている。
- 電子顕微鏡の操作が、Windows PC の画面の上で簡単に行え、走査透過電子顕微鏡 (STEM) 機能もインテグレートされて同一の PC の上でデジタル画像として記録できる。写真撮影用のCCDカメラとして、高分解能撮影用のボトムマウントカメラと主に電子線回折像撮影用のサイドマウントカメラが使用できる。
測定できる物質、状態、大きさ等
- 粉体（粒子）・薄膜試料のようなφ3mmのTEM用メッシュに乗せることが可能な試料
- バルク物質はサイズを3mm程度に加工して、観察箇所を薄く剥片化したもの
- 磁性体および蒸気圧が高い有機物は観察が困難なために要相談